TSMC 1T1C 메모리, 8ns 미만 지연 및 10^14 사이클 내구성 달성

TSMC might do in memory compute for us

·2026.11.07 22:17

핵심 내용

TSMC가 BEOL에 통합하는 1T1C 메모리 기술로 8ns 미만 지연 시간을 달성했다.

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  • TSMC가 2025 VLSI 심포지엄에서 첨단 로직 칩의 백엔드 라인(BEOL) 인터커넥트 레이어에 메모리를 직접 통합하기 위한 1T1C 산화물 반도체 메모리 기술을 발표함
  • 테스트 칩 결과 0.75V 동작, 128ms 초과 데이터 유지, 8ns 미만 랜덤 읽기/쓰기 사이클 시간, 10^14 사이클 이상 내구성을 확인함
  • 기존 독립형 DRAM 칩과 달리 로직 다이 인터커넥트 내 메모리 통합을 위해 산화물 반도체 채널 트랜지스터와 저온 공정 캐패시터를 활용함
  • TSMC는 해당 기술을 SRAM보다 높은 밀도를 제공하면서도 저전력과 낮은 지연 시간을 유지하는 프로세서 캐시로 포지셔닝함
  • 삼성, SK하이닉스, 마이크론과 경쟁하는 3D DRAM 생산도 동시에 모색 중임

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